涂布設備基本技術
高精度薄膜涂布技術
模頭定位機構
特征
- 采用伺服電機高精度定位
- 滾珠螺桿無反向間隙
- 沒有發生塞子式的滯后現象
設定精度：1μm
重復再現精度：±0.5μm
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